空氣凈化

 一般要求

1、 潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應符合下列要求：

一、潔凈室內有多種工序時，應根據各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。

二、在滿足生產工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組織，宜采用局部工作區空氣凈化和全室空氣凈化相結合的形式。

2、 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調節系統均宜分開設置。

3、 潔凈室內的計算溫、濕度，應符合下列規定：

一、滿足生產工藝要求；

二、生產工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26℃，濕度小于70％；

三、人員凈化用室和生活用室溫度為16－28℃。

4、 潔凈室內應保證－定的新鮮空氣量，其數值應取下列風量中的：

一、亂流潔凈室后送風量的10－30％，層流潔凈室總送風量的2～4％；

二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量；

三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

5、 潔凈區的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵系統。潔凈室內集中式真空吸塵系統的管道，應暗敷。

6、 在凈化空氣調節系統設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規定。

 潔凈室正壓控制

1、 潔凈室必須維持一定的正壓。 不同等級的潔凈室以及潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差，應不小于0．5毫米水柱；潔凈區與室外的靜壓差，不應小于1．0毫米水柱。

2、 潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算：

Q＝a．∑(q．L) （5．2．2）

式中Q一維持潔凈室正壓值所需的正壓風量（立方米／時），

a一根據圍護結構氣密性確定的安全系數，可取l．l－l．2；

q一當潔凈室為某一正壓值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量（立方米／時·米）；

L一圍護結構的縫隙長度（米）。

3、 圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量 可按表5．2．3采用。

圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量 表5．2．3

4、 送風、回風和排風系統的啟閉應聯鎖。系統開啟時，聯鎖程序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；系統關閉時，則聯鎖程序應相反。

5、 非連續運行的潔凈室，可根據生產工藝要求在置值班風機，并應對新風進行處理。

 氣流組織和送風量

1、 氣流組織的選擇，應符合下列要求：

一、潔凈工作區的氣流速度，應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求來。并應使潔凈工作區氣流流向單一；

二、回風口宜均勻布置在潔凈室下部；

三、余壓閥宜設在潔凈室氣流的下風側，不宜設在潔凈工作區高度范圍內。

2、 潔凈室的氣流組織和送風量，宜按表5．3．2選用。

氣流組織和送風量 表5．3．2

注：１.垂直層流潔凈室采用相對兩側墻下部均勻布置回風口方式，僅適用于兩對側側墻間距不大于5米．

2.亂流潔凈室送風量的確定，宜考慮室內含塵濃度不均勻擴散的因素．

3、 亂流潔凈室的送風量，應取下列規定的：

一、為控制室內空氣潔凈度所需要的送風量；

二、按表5．3．2規定的送風量；

三、根據熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量；

四、按空氣平行所需要的送風量。

4、 當生產工藝僅要求在潔凈室內局部工作區達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設計應使潔凈氣流首先流經該工作區，或在潔凈室的不同區域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區，其型式可分別按圖5．3．4－1、圖5．3．4－2選用。

5、 層流潔凈室內不宜設置潔凈工作臺；亂流潔凈室內可設置潔凈工作臺，但其位置應遠離回風口。

6、 潔凈室內有局部排風裝置時，其位置應設在工作區氣流的下風側。

 空氣凈化處理

1、 各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。

注：100,000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器。

2、 確定集中式或分散式凈化空氣調節系統時，應綜合考慮生產工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積位置等因素。凡生產工藝連續、潔凈室面積較大、位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節系統。

3、 凈化空氣調節系統設計應合理利用回風。凡工藝過程產生大量有害物質且局部處理不能滿足衛生要求或對其他工序有危害時，則不應利用回風。

4、 凈化空氣調節系統除直流式系統和設置值班風機的系統外，應采取防止室外污染空氣通過新風口滲入潔凈室內的防倒灌措施。

5、 空氣過濾器的選用、布置和安裝方式，應符合下列要求：

一、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器

二、中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節系統的正壓段；

三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾氣宜設置在凈化空氣調節系統末端；

四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用；

五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一潔凈室內；

六、高效空氣過濾器的安裝方式應簡便可靠，宜于檢漏和更換。

6、 送風機可按凈化空氣調節系統的總送風量和總阻力值進行選擇。中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。

7、 凈化空氣調節系統如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施。

 采暖通風

1、 潔凈室的采暖型式，應按下列不同情況確定：

一、100級、1000級、10，000級潔凈室，不應采用散熱器采暖；l00，000級潔凈室，不宜采用散熱器采暖。

二、值班采暖可利用技術夾道的散熱器進行間接采暖，或采用間歇運行凈化空氣調節系統、值班風機系統進行熱風采暖。

2、 散熱器應采用表面光滑、不易積塵、便于清掃的型式。

3、 潔凈室內產生粉塵和有害氣體的工藝設備，應設局部排風裝置，排風罩的操作口面積應盡量縮小。

4、 局部排風系統在下列情況下，應單獨設置：

一、非同一凈化空氣調節系統；

二、排風介質混合后能產生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性；

三、所排出的有害物毒性相差很大。

5、 潔凈室的排風系統設計，應采取下列措施：

一、防倒灌措施；

二、含有易燃、易爆物質局部排風系統的防火、防爆措施。

6、 換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應采取通風措施。其室內的靜壓值，應低于潔凈區。

7、 潔凈室事故排風系統的換氣次數，應采用每小時15～20次。

事故排風裝置的控制開關，應分別設在潔凈室和室外便于操作的地點，并應與凈化空氣調節系統聯鎖，其室內宜設報警裝置。

 風管和附件

1、 風管斷面尺寸的確定，應考慮能對風管內壁進行清潔處理，并在適當位置設置密閉的清掃口。風管壁厚按附錄六選用。

2、 凈化空氣調節系統的新風管、回風總管，應設置密閉調節閥。

送風機的吸入口處和需要調節風量處，應設置調節閥。潔凈室內的排風系統，應設置調節閥、止回閥或密閉閥。總風管穿過樓板和風管穿過防火墻處，必須設置防火閥。

3、 凈化空氣調節系統的風管和調節閥以及高效空氣過濾器的保護網、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應根據輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環境條件確定。

潔凈室內排風系統的風管、調節閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應根據排除氣體的性質及其所處的空氣環境條件確定。

4、 在中效和高效的空氣過濾器前后，應設置測壓孔。在新風管和送回風總管以及需要調節風量的支管上，應設置風量測5、 排除腐蝕性氣體的風管，可采用塑料風管。其他風管以及風管的保溫和消聲材料及其粘結刑，應采用非燃燒材料或難燃燒材料。

 給水排水

一般規范

1、 潔凈廠房內的給水排水干管，應敷設在技術夾層、技術豎井、地溝管槽內或地下埋設。

潔凈室內應少敷設管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對空氣潔凈度等級要求高的潔凈室可暗敷。

2、 潔凈廠房內的管道外表面，如可能結露，應采取防結露措施。

3、 管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應設套管。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。

4、 管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時，穿墻管及其套管應為非燃燒體管材。

 給水

1、 潔凈廠房內的給水系統設計，應根據生產、生活和消防等各項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，分別設置直流、循環或重復利用的給水系統。高純水系統應設置循環管道。

2、 管材的選擇，應符合下列要求：

一、純水管、高純水管應采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管；

二、冷卻循環給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管；

三、生產用水設備與管道的連接宜采用軟管；

四、管道的配件應采用相應的材料。

3、 潔凈廠房內可設置開水供應設施；盥洗室內的盥洗盆宜供應熱水；軟化水、純水管適應預留清洗口；純水終端凈化裝置應放在靠近用水點處。

4、 潔凈廠房的周圍，應設置灑水設施。

 排水

1、潔凈廠房的排水系統設計，應根據生產排出的廢水性質、濃度、水量等特點確定排水系統，并應有廢水處理或綜合利用設施。

2、 潔凈室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必須在其排出口以下部位設水封裝置，并應有防止水封被破壞的設施。

3、 100級、1000級潔凈室內，不宜設置地漏；如必須設置時，應采用有蓋地漏，并不應設排水溝。10，000、100，000級潔凈室內允許穿過排水豎管，但在豎管上不得設置檢查口。

4、 潔凈廠房內應采用不易積存污物、易于清掃的衛生器具、管材、管架及其附件。

 消防設施

1、 潔凈廠房應根據生產的火災危險性分類和建筑物耐火等級等因素確定消防設施。

2、 潔凈廠房室內消火栓給水系統的消防用水量不應小于10升／秒，每股水量不應少于5升／秒；

3、 潔凈廠房的消火栓設置，應符合下列要求：

一、消火栓的水充實水柱，不應小于10米。

二、消火栓的栓口直徑應為65毫米，配備的水帶長度不應超過25米，水噴嘴口徑不應小于19毫米。

4、 潔凈室及其技術夾道和技術夾層內，均宜同時設置鹵代烷或二氧化碳等滅火設施和消防給水系統。對設有貴重設備儀器或生產的火災危險性較大的潔凈室，以及當火災發生時消防人員難以進入撲救的技術夾層和技術夾道等部位，應同時設置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統。

 工業氣體管道

 通常規定

1、 工業氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。和氧氣管道宜明敷；如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。引入潔凈室的支管宜明敷。

2、 高純氣體管道設計，應附合下列要求

一、根據計算確定管徑；

二、管道系統應盡量短；

三、不宜設預留口；

四、不應出現“盲管”等不易吹除的部位；

五、干管和支管上應設置吹除口；

六、在管道系統上應設置必要的取樣口。

3、 穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。

4、 和氧氣管道末端或是高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，并應設在防雷保護區內。

5、 氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體純度的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應設在靠近用氣點處。

6、 氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。

高純氣體管道應裝設高氣體過濾器。

 管道材料、閥門和附件

1、根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規定選用：

一、氣體純度大于或等于99．999％時，應采用不銹鋼管；

二、氣體純度大于或等于99．99％時，直采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管；

三、氣體純度小于99．99％時，可采用無縫鋼管；

四、管道與設備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳膠管。

2、 高純氣體管道應采用密封性能好的閥門和附件，其材料與管道相適應。閥門的密合圈應為有色金屬、銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應采用聚四氟乙烯材料。

3、 高純氣體管道與附件連接的密封墊,應采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。

 管道連接和清洗

1、 管道連接應采用焊接。高純氣體管道應采用承插焊。

2、 管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。

3、 高純氣體管道內的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。

 安全技術

1、 工業氣體管道設計的安全技術，應符合下列規定：

一、管道的支管和放散管上，應設置回火防止器；

二、和氧氣管道應設置導除靜電裝置；

三、各種氣體管道應設明顯標志。

2、 潔凈室內使用時，宜在室內設置報警裝置。

3、 各種氣瓶應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內。