FKM(Fluoro Carbon Rubber) 分子內含氟之橡膠，依氟含量 ( 即單體構造 ) 而有各種類型。目前廣用的六氟化系氟橡膠早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高溫性優于硅橡膠，有的耐化學性、耐大部分油及溶劑 ( 酮、酯類除外 ) 、耐候性及耐臭氧性；耐寒性則較不良，一般使用溫度范圍為 -20~250 ℃。特殊配方可耐低溫至 -40 ℃。

氟膠O型密封圈的優點：

· 可抗熱至 250 ℃

· 對于大部份油品及溶劑都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸類、脂族烴、芳香烴及動植物油

氟膠O型密封圈的缺點：

· 不建議使用于酮類，低分子量的酯類及含硝的混合物。 · 汽車、機車、柴油發動機及燃料系統。

適用范圍:

· 化工廠的密封件。

全氟橡膠 FFPM(Perfluoroelastomer) 優點：

· 佳耐熱特性

· 優異的抗化學特性

· 低Outgassing 特性

· 優異之抗Plasma特性

缺點：

· 耐低溫特性較差

· 原料價格較高

· 生產難度較高

適用范圍:

· 全氟系列產品廣泛地運用于半導體產業及信息相關產業所運用, 運用范圍包含薄膜制程中之PVC, CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。

硅氟橡膠